Cấu tạo chính của hệ thống xử lý khí gồm 5 phần chính: Máy bơm khí, bộ lọc khí và van tiết lưu, buồng plasma, mạch điều khiển dòng plasma và bộ điều khiển lập trình tự động. Khí thải được bơm từ ngoài vào, qua ống dẫn khí đến bộ lọc bụi và van tiết lưu để chỉnh lưu lượng khí cho phù hợp, sau đó khí được chuyển tới buồng plasma.
Bộ lọc khí plasma có thể lọc được các tạp chất, côn trùng, bụi phấn, lông chó mèo có kích thước nhỏ giúp ngăn ngừa các bệnh về đường hô hấp. Nguồn plasma lạnh được tạo ra nhờ sự trợ giúp của nguồn điện và khí thải. Không khí sau khi qua buồng plasma sẽ trở thành khí sạch. Như vậy, quá trình khí thải từ khi vào máy rồi thải ra bên ngoài hoàn toàn tự động.
Nhóm nghiên cứu đã thực nghiệm xử lý khí thải từ việc đun viên nén mùn cưa của lò hơi, từ khí thải từ động cơ xăng, diesel. Kết quả cho thấy, hiệu xuất xử lý khí hydrocarbon đạt 72%, 4 loại khí thải CO, CO2, NOx... khoảng 50%. Hiệu suất xử lý còn phụ thuộc vào từng nguồn khí thải. Vì vậy, để đạt hiệu suất cao nhất cho mỗi loại khí thải của từng nhà máy, điều kiện xử lý là rất quan trọng, ví dụ như điện áp nguồn plasma, lưu lượng khí, kích thước buồng plasma.
TS.Trần Ngọc Đảm, Chủ nhiệm nhóm nghiên cứu cho biết: “Công nghệ plasma với hệ thống xử lý đơn giản, gọn nhẹ, hiệu suất cao và đặc biệt chi phí vận hành thấp. Tuy nhiên, do là công nghệ mới áp dụng nên chi phí lắp đặt một hệ thống lớn cho các khu công nghiệp còn cao. Mặt khác, khu công nghiệp, nhà máy sản xuất hiện hay sử dụng nguyên liệu đốt không ổn định nên nhóm nghiên cứu tiếp tục nâng cấp thiết bị xử lý được nhiều loại khí thải phù hợp hơn với thực tế”.